Félvezető kristályok nanoméretű hibáinak kimutatására szolgáló fényszóráson alapuló mikroszkóp optikai érzékenységének vizsgálata

Benes, Botond (2013) Félvezető kristályok nanoméretű hibáinak kimutatására szolgáló fényszóráson alapuló mikroszkóp optikai érzékenységének vizsgálata. Masters, Szegedi Tudományegyetem.

	Text 2013_benes_botond.pdf - Thesis Hozzáférés joga: SZTE designated computers only Download (16MB)
	Text 2013_benes_botond_biralat.pdf - Review Hozzáférés joga: Repository staff only Download (3MB)

English title

Examination of the optical sensitivity of a light scattering microscope used to detect nano-sized defects in semiconductor crystals

Institution

Szegedi Tudományegyetem

Faculty

Faculty of Science and Informatics

Department

Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék

Discipline

Natural Sciences

Specialization

fizikus

Supervisor(s)

Item Type:	Thesis (Masters)
Subjects:	01. Natural sciences 01. Natural sciences > 01.03. Physical sciences
Depositing User:	TTK szerkesztő
Date Deposited:	2025. Oct. 07. 13:17
Last Modified:	2026. Feb. 02. 15:21
URI:	https://diploma.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/47889

Actions (login required)

View Item