Ömlesztett kvarc excimer lézeres mikro-megmunkálása (Laser Induced Backside Wet Etching-módszer vizsgálata)

Csikós, János (2002) Ömlesztett kvarc excimer lézeres mikro-megmunkálása (Laser Induced Backside Wet Etching-módszer vizsgálata). ['eprint_fieldopt_thesis_type_master' not defined] thesis, Szegedi Tudományegyetem.

[thumbnail of 2002_csikos_janos.pdf]Text
2002_csikos_janos.pdf - Thesis
Restricted to SZTE designated computers only

Download (6MB)
    [thumbnail of 2002_csikos_janos_biralat.pdf]Text
    2002_csikos_janos_biralat.pdf - Review
    Restricted to Repository staff only

    Download (719kB)
      Item Type: Thesis (['eprint_fieldopt_thesis_type_master' not defined])
      Subjects:01. Natural sciences
      01. Natural sciences > 01.03. Physical sciences
      Depositing User:TTIK szerkesztő
      Date Deposited:14 Oct 2025 10:26
      Last Modified:04 Feb 2026 15:05
      URI:https://diploma.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/153647

      Actions (login required)

      View Item
      View Item