Ömlesztett kvarc excimer lézeres mikro-megmunkálása (Laser Induced Backside Wet Etching-módszer vizsgálata)

Csikós, János (2002) Ömlesztett kvarc excimer lézeres mikro-megmunkálása (Laser Induced Backside Wet Etching-módszer vizsgálata). Masters, Szegedi Tudományegyetem.

	Text 2002_csikos_janos.pdf - Thesis Hozzáférés joga: SZTE designated computers only Download (6MB)
	Text 2002_csikos_janos_biralat.pdf - Review Hozzáférés joga: Repository staff only Download (719kB)

Institution

Szegedi Tudományegyetem

Faculty

Faculty of Science and Mathematics

Department

Optikai és Kvantumelektronikai Tanszék

Discipline

Natural Sciences

Specialization

fizikus

Supervisor(s)

Item Type:	Thesis (Masters)
Subjects:	01. Natural sciences 01. Natural sciences > 01.03. Physical sciences
Depositing User:	TTIK szerkesztő
Date Deposited:	2025. Oct. 14. 10:26
Last Modified:	2026. Feb. 04. 15:05
URI:	https://diploma.bibl.u-szeged.hu/id/eprint/153647

Actions (login required)

View Item